CP系列中圖國產(chǎn)臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的**勢。針對測量ITO導電薄膜的應用場(chǎng)景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：
1）結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺，能夠快速定位到測量標志位；
2）對于批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量；
3）提供SPC統計分析功能，直觀(guān)分析測量數值變化趨勢；
結構（主要組成部分）
1、測量系統
（1）單拱龍門(mén)式設計，結構穩定性好，而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。
（2）線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
（3）傳感器設計使得在單一平臺上即可實(shí)現超微力和正常力測量。測力恒定可調，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實(shí)現無(wú)接觸損傷的精準接觸式測量。
2、工件臺
（1）精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動(dòng)旋轉臺，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調節，三維位置均可以調節，利于樣品調整。
（2）超高直線(xiàn)度導軌，有效避免運動(dòng)中的細微抖動(dòng)，提高掃描精度，真是反映工件微小形貌。
3、成像系統
500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量�？梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸到控制電腦上，使得測量更加直觀(guān)。
4、軟件系統
測量軟件包含多個(gè)模塊。
5、減震系統
防止微小震動(dòng)對測量結果的影響，使實(shí)驗數據更加準確。
CP系列中圖國產(chǎn)臺階儀應用場(chǎng)景適應性強，其對被測樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，能夠廣泛應用于半導體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)**域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀(guān)形貌參數的準確表征，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
產(chǎn)品功能
1.參數測量功能
1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；
2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；
3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過(guò)程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類(lèi)似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。
2.數采與分析系統
1）自定義測量模式：支持用戶(hù)以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來(lái)設定掃描路徑的測量模式；
2）導航圖智能測量模式：支持用戶(hù)結合導航圖、標定數據、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現掃描的測量模式。
3）SPC統計分析：支持對不同種類(lèi)被測件進(jìn)行多種指標參數的分析，針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。
3.光學(xué)導航功能
CP系列中圖國產(chǎn)臺階儀配備了500W像素的彩色相機，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測量。
4.樣品空間姿態(tài)調節功能
配備了精密XY位移臺、360°電動(dòng)旋轉平臺和電動(dòng)升降Z軸，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調節，提高測量精度及效率。
產(chǎn)品應用
測量晶圓
部分技術(shù)指標
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型號
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CP200
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測量技術(shù)
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探針式表面輪廓測量技術(shù)
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樣品觀(guān)察
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光學(xué)導航攝像頭:500萬(wàn)像素高分辨率 彩色攝像機,FoV,2200*1700μm
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探針傳感器
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超低慣量，LVDC傳感器
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平臺移動(dòng)范圍X/Y
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電動(dòng)X(jué)/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
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單次掃描長(cháng)度
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55mm
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樣品厚度
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50mm
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載物臺晶圓尺寸
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150mm（6吋）,200mm（8吋）
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臺階高度重復性
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5 Å, 量程為330μm時(shí)/ 10 Å, 量程為1mm時(shí)（測量1μm臺階高度，1δ）
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尺寸（L×W×H）mm
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640*626*534
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重量
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40kg
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儀器電源
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100-240 VAC，50/60 Hz，200W
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使用環(huán)境
相對濕度：濕度 （無(wú)凝結）30-40% RH
溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)
地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）
音頻噪音：≤80dB
空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）
懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。
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