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        1. 機電商情網(wǎng)

          手機觸屏版

          KRi 大面積射頻離子源用于 IBE 離子束蝕刻系統

          起訂量: 面議
          價(jià) 格: 面議
          品牌: KRI
          供貨總量: 面議
          發(fā)貨期限: 自買(mǎi)家付款之日起 3 天內發(fā)貨
          所在地: 上海
          有效期至: 長(cháng)期有效
          最后更新: 2023-06-01 09:16
          關(guān)注人數: 1097
          公司基本資料信息
          伯東企業(yè)(上海)有限公司
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          地區上海
          地址上海市外高橋保稅區希雅路33號17號樓B座3層,200131
          • 品牌:
            KRI
          • 發(fā)貨期限:
            自買(mǎi)家付款之日起 3 天內發(fā)貨
          • 所在地:
            上海

          上海伯東美國 KRi 考夫曼公司大面積射頻離子源  RFICP 380, RFICP 220 成功應用于 12英寸和 8英寸 IBE  離子束蝕刻機, 刻蝕均勻性(1 σ)達到< 1%. 可以用來(lái)刻蝕任何固體材料, 包括金屬, 合金, 氧化物, 化合物, 混合材料, 半導體, **緣體, 超導體等.

          離子束刻蝕屬于干法刻蝕, 其核心部件為大面積離子源. 作為蝕刻機的核心部件, KRi  射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的離子束, 接受客戶(hù)定制, 單次工藝時(shí)間更長(cháng), 滿(mǎn)足各種材料刻蝕需求!  氣體通入離子源的放電室中,  電離產(chǎn)生均勻的等離子體, 由離子源的柵極將正離子引出并加速, 然后由中和器進(jìn)行中和. 利用引出的帶有一定動(dòng)能的離子束流撞擊樣品表面, 通過(guò)物理濺射將材

          聯(lián)系時(shí)請說(shuō)是在機電商情網(wǎng)看到我的,謝謝!

           
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