某半導體工廠(chǎng)在生產(chǎn)線(xiàn)上氣體輸送環(huán)節的氣體管路系統采用伯東 HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 ，作為真空隔離密封.
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術(shù)規格:
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閥門(mén)材質(zhì):
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- 閥門(mén)主體
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304 不銹鋼
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- 焊接波紋管軸封
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AM - 350
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閥門(mén)密封方式
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- 高真空
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氟橡膠
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- 超高真空
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銅墊圈 / 氟橡膠
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真空:
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- 壓力范圍
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高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差壓關(guān)閉
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1 bar ( 任意位置 )
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- 開(kāi)啟前**大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度（不含電磁閥）:
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- 彈性體密封閥蓋
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150°C
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- 金屬密封閥蓋
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-開(kāi)啟溫度：200°C
-關(guān)閉值：150°C
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- 驅動(dòng)方式
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手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
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機制
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手動(dòng)：
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手搖曲柄
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電磁閥供電電壓
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120 VAC 50 /60 Hz
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電磁閥可選電壓
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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電磁閥位置指示器,**大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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氣動(dòng)送風(fēng)：
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80 psig
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使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實(shí)際使用情況決定)
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公稱(chēng)通徑: DN 16 - 800 mm
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HVA 是真空技術(shù)創(chuàng )新者的真空閥門(mén)(插板閥), 是高真空閥門(mén)的主要制造商和供應商.
在設計真空系統時(shí), 可以輕松集成 HVA 閥門(mén). HVA 閘閥從5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狹縫閥的**大距離為80英寸（2m）, 可以滿(mǎn)足您的真空閥門(mén)(插板閥)要求. 無(wú)論您是升級現有的真空系統還是 OEM 設計新的系統, HVA 都可以提供經(jīng)濟高效的替代閥門(mén)解決方案.
HVA 真空閥門(mén)(插板閥)的閥體和所有主要內部組件都是內部釬焊的真空爐, 消除了虛擬泄漏的可能性, 閥體變形**小化.
40多年來(lái), HVA 一直在建造業(yè)內質(zhì)量**高, 設計**好的真空閥門(mén)(插板閥). HVA 代表著(zhù)質(zhì)量, 工程, 定制和服務(wù).
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