HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 不銹鋼真空閘閥 真空插板閥 11000 系列, 手動(dòng),氣動(dòng)可選, 滿(mǎn)足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥 與前級泵, 渦輪分子泵完美聯(lián)用.
HVA 不銹鋼高真空閘閥 真空插板閥 11000 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
高真空和超高真空, 閥門(mén)主體和內部組件采用不繡鋼材質(zhì)
閥門(mén)口徑 DN 16 - 800 mm, 手動(dòng)或氣動(dòng)驅動(dòng)
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶(hù)定制
常規 200°c **高 250 °c
堅固耐用, 達到設定的真空度時(shí), 氣動(dòng)閥門(mén)自動(dòng)開(kāi)閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
HVA 高真空閘閥 超真空插板閥 11000 系列技術(shù)參數
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閥門(mén)材質(zhì):
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- 閥門(mén)主體
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304 不銹鋼
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- 焊接波紋管軸封
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AM - 350
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閥門(mén)密封方式
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- 高真空
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氟橡膠
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- 超高真空
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銅墊圈 / 氟橡膠
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真空:
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- 壓力范圍
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高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差壓關(guān)閉
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1 bar ( 任意位置 )
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- 開(kāi)啟前**大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度（不含電磁閥）:
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- 佛橡膠密封
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150 °c, 可選配置**大 250 °c
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- 銅墊圈密封
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閥門(mén)關(guān)閉 200 °c, 閥門(mén)打開(kāi) 150 °c
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- 驅動(dòng)方式
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手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
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- 氣體
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80 psig (5.5 bar)
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- 電磁
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4.0 Watts
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- 供電
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120 VAC 50 /60 Hz
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- 可選電壓
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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- 位置指示器,**大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實(shí)際使用情況決定)
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接口: DN 16 - 800 mm
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美國 HVA 11000 系列高真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個(gè)軟封的氣動(dòng)閘（可選擇的) , 閥門(mén)保持關(guān)閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥**特的氣缸設計保證**低的沖擊和振動(dòng), 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè). HVA不銹鋼真空閘閥提供了業(yè)界**小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門(mén)的**大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門(mén)手動(dòng), 三種驅動(dòng)方式可選, 或定制法蘭滿(mǎn)足不同應用. 美國 HVA 真空閘閥 11000 系列可任意位置安裝.
HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例一
上海伯東客戶(hù)某大學(xué)自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統, 采用美國 HVA 真空閘閥 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 成功分析生長(cháng)晶體表面結構.
HVA 真空閘閥 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
半導體管道插板閥應用示意圖 現場(chǎng)圖
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列組成:
美國 HVA 真空閥門(mén)-美國**大真空閥門(mén)制造商. 美國 HVA 原裝進(jìn)口真空閥門(mén), 超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門(mén)設計與制造. 主營(yíng)高真空閘閥, 超高真空插板閥廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等**域. 上海伯東是美國 HVA 真空閥門(mén)在中國地區**指定總代理商。
若您需要進(jìn)一步的了解詳細信息或討論, 請聯(lián)絡(luò )上海伯東鄧女士，分機134
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