>> 技術參數
◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 合金鋁真空倉體(約100升)
450(W)×450(D)×450(H)mm
◆ 電極結構
外置電感耦合電極
◆ 等離子發生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作
◆ 控制系統
PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品**電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英�？祲毫鞲衅�
◆ 充氣系統
美國MKS高精度電子質量流量計(四路氣體配制)
美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件